Хагасдамжуулагчийн үйлдвэрт силикон дисковыг угаахад ультратөвхөн ус заачигдаж яагаад?

Хагасдамжлагчийн үйлдвэрлэлд ашиглагдаж буй төхөөрөмжүүд нь орчин үеийн үйлдвэрлэлд хамгийн хатуу цэвэрлэх шаардлагын доор ажилладаг, түүнд жижигхэн бохирдож буй хэсгүүд ч милион долларын үнэ цэнэтэй бүтээгдэхүүнийг газар дүүртгэж чадна. Эдгээр хатуу шаардлагын төвд ультрацэвэр ус оршит, нь интеграл схемүүдийн үйлдвэрлэлд үүрэгтүүн технологийн бүтээгдэхүүн бөөрсөг хүртэлх үйлдлүүдийн хооронд усанд угаах үйлдлүүддээ ашиглагдаж буй чухал процессын химийн бүтээгдэхүүн юм. Интеграл схемүүдийн үндсэн суурин болойг үүрдэг силикон бөөрсөг хүртэлх үйлдлүүддээ усанд угаахдаа тийнхүү цэвэр ус ашиглагдаж буй, яг л уусмал бодис, органик нүүрсустарууд, бөөрсөг хүртэлх үйлдлүүд, микроорганизмууд гүй ус ашиглагдаж буй. Хагасдамжлагчийн үйлдвэрлэлд силикон бөөрсөг хүртэлх үйлдлүүддээ ультрацэвэр ус ашиглагдаж буй шалтгаан нь наномасштабын төхөөрөмжүүдийн бохирдож буй хэсгүүддээ хэт мэдрэмтгүй байх, гадаргуугийн хими тодорхой байх шаардлага, мөн нэг гажигт хүрснээс бүтээдгүүдийн бүх цогц хүртэлх үйлдлүүд нь ажиллахгүй болж, үйлдвэрлэлийн үр дүнг хамгийн их хэмжээнд хүртгэх икономик шаардлага юм.

Хагасдамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь фотолитографи, травлирование, тунадасжүүлэл, ион имплантаци зэрэг зуунд орчим дараалан хийгдэх үйлдлүүдийг багтаадаг. Химийн боловсруулалт юм уу физик процессын дараа дараагийн үйлдлүүд рүү шилжихийн өмнө пластинас (вафер) дээрх үлдэгдэл химийн бодисууд, урвалын хажуу бүтээдмүүд болон бөөрсүүдийг бүрэн угааж хаях шаардлагатай. Ультрацэвэр уснаас бусдыг ашиглах нь пластинас дээрх гадаргуугт боорцгооныг үүсгэж, дараагийн боловсруулалт үйлдлүүдийн үр дүнд саад тавих, төхөөрөмжүүдийн цахилгаан шинж чанаруудыг өөрчлөх юм уу үлдсэн үйлдвэрлэлд тархаж бүтээдмүүдийн гэмтлийг үүсгэж мөн түүнийг тархаж өгөх аюултай. Төхөөрөмжүүдийн геометрийн хэмжээс нь арав нанометрээс бага болж буй үед нүүрсүүдийн хувьд нь триллионд нь нүүрсүүдийн хувьд нь хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээж буй хүлээ......

Силиконы шилний бутлуурын үйлдвэрлэлийн үеэр илэрдэг бохирдол

Нанно хэмжээний төхөөрөмжийн садар самуун задарлыг илрүүлэх мэдрэмж

Орчин үеийн хагас дамжуулагчийн төхөөрөмжүүд нь транзисторын хаалга, холболт, нэг тоон нанометрээр хэмжигддэг бусад бүтэцтэй бөгөөд гадаргууны талбай-хөгжлийн харьцаа их хэмжээтэй тул гадаргууны бохирдолтой харьцангуй эмзэг байдаг. Натрий, калий, төмөр, жонш зэрэг металлын ион бүр нэг тэрбум хувьтай устай хуурайшвал эдгээр бохирдол нь бат эрчимтэй кремний гадаргуудад унах бөгөөд хаалганы оксид болон холболт бүсэд шилжих болно. Металлын бохирдол нь хөдөлгөөнт ион төрөлүүдийг бий болгож, цэгний эрчим хүчийг өөрчилж, урсалт урсгалыг нэмэгдүүлж, тээвэрчийн хөдөлгөөнт байдлыг бууруулж, төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг цаг хугацаагаар нь доройтож байна. Зөвхөн 10 нанометр хэмжээтэй нэг металлын цөц нь дэвшилтэт хоолонд ойрхон эргэлтийн шинж чанаруудыг дамнаж, богино замын үйл ажиллагааг үүсгэж, эсвэл загварын тодорхойлолтгүйгээр хүчин чадлын үнэ цэнийг өөрчилж болно. Хэрэглэх ультра ш scrut ус металл загрэмдүүрүүдийн вэтийн химийн боловсруулалтын дараа чухал угаалтын үе шатуудад пластинка дэлхийн гадаргууг хүртэл түүнийг саархуулж.

Органик бохирдож нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ижилхэн хүнд аюул үүсгэнэ. Фоторезистийн үлдэгдлүүд, уусгагч молекулууд, гадаргуугийн идэвхт бодисууд ба агаарын гидрокарбонууд нь дараагийн фотолитографийн үе шатуудад саад тавих зүрхлүүдийн адгэснийг өөрчлөх юм уу фокусын алдаа үүсгэх зүрхлүүдийн тоноглолын гадаргуудаа нарийн зүрхлүүд үүсгэнэ. Органик молекулууд нь ч өндөр температурт процессын үед задарч, цардуул үлдэгдлүүд үүсгэнэ, түүнээс дундаж хуримтлуурт бохирдож, диэлектрик давхрагуудад хоосон зай үүсгэнэ. Бактери, биоплёнкууд ба эндотоксинууд нь зөвхөн бөөрсүүдийн бохирдож, органик бохирдож хоёрыг хүүрдүүлнэ; микроорганизмуудын өсөлтийн бүтээдсүүд нь наномасштабын загварууд үүсгэж, түүнээс зүрхлүүдийн гадаргуудаа давтагдаж, тархаж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн бүтцүүдийн чанарыг муудуулж, түүнээс төхөөрөмжийн б......

Бөөрсүүдийн үүсгэсэн гэмтлийн үүсэлтийн механизмууд

Бөөрсгөн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тааруулж бүтээмжийг хязгаарлаж буй нь хамгийн түгээмжтэй шалтгаануудын нэг юм. Усанд уусгүй бөөрсгөн холимог — минералын бөөрсгөн хэсгүүд, тунадас үүсгүй соли, органик бохирдлууд — усанд угаалт хийх үед гравитацийн түүдгүүрлэл, электростатик таталцал эсвэл гидродинамик хүчнүүдийн үйлдлээр дуслын гадаргуугаа нааш тунадас үүсгүй. Тавин нанометр хэмжээтэй бөөрсгөн холимог дугуйралт хүртэл долоон нанометрээс бага технологийн зангилаа (node) дээрх цахилгаан схемын элементийг бүрдүүлж, нээлттэй хэлхээсүүд эсвэл холбогч гэмтлийг үүсгүй. Литографийн үед фоторезист дээр унах бөөрсгөн холимог нь хоолойн нүхнүүд эсвэл зургийн хазайлтууд үүсгүй, түүн дараа агшруулалт ба тунадас үүсгүй үйлдлүүдийн үед тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн үйлдлүүдийн дагуу тархмуйн......

Дуслын хүчтэй гадаргуугийн харилцан үйлдэл силикон ба силикон диоксидтой холбоотойн улмаас дуслын ариутгах ажил төвөгтэй болой. Дуслын тундруулалт нь Ван дер Ваальсын хүч, электростатик таталцал, хуурайшуулах үед капилляр бүрхүүлийн нөлөөлөлтүүн бөөрсүүн хүнд ариутгах болой. Түүн дагуу дуслын тундруулалтыг анхны шатанд саархуулахын тулд угаалтын усны чанарыг хатуу хянах шаардлагатай. Ультрацэвэр ус үйлдвэрлэх системд нүхний хэмжээ нь арав нанометр хүртэл багасгаж, тавин нанометртэй илүү дуслын тоо миллилитрт нь нэг дуслаас бага байхаар хангаж, олон шатын шүүлт ашигладаг. Ультрацэвэр усны системд ус нь тасралтгүй шүүлт ба хяналт хийгдэж, түүн дагуу фабрикын бүх үйлдсэнд цэвэрлэх түвшин үлдмүүн хадгалагдой.

Гадаргуугийн хими удирдлагын өөрчлөлт ба технологийн интеграцийн асуудал

Тусгаарлагдаж буй бохирдогчдийн нөлөөг тайлбарлахын гадна, бохир ус нь дараагийн үйлдвэрлэлт шатуудыг хоосондуур хийх нь силиконовын дуслуудын гадаргуугийн үндесний хими-физик шинж чанарыг өөрчилдөг. Силиконовын гадаргуу нь хүчилтөрөгч ба усны нөлөөнд үүрдийн танхимын оксидын нарийн давхарга үүсгэдөг. Энэ оксидын зүйл, бүрдэл ба хоорондын хязгаарын чанар нь усны цэвэр байдалд илт хамаардөг. Усанд уусжүүрсэн ионы (тухайлбал, силикат, борат, фосфат) нь энэ үүрдийн оксидын бүрдэлд орж, түүний диэлектрик шинж чанарыг ба хаях хурдыг өөрчилдөг. Бохирдогчдийн нөлөөнд орж усны гадаргуу оксидын чанар муудаж, дуслууд халуун агаарын печьд термокислороджүүрсэн үйлдвэрлэлт шатууд руу орж, эсвэл хаалт диэлектрик тавих шатууд руу орж, үүссэн давхаргын зүйл төлөөлөхгүй, хоорондын ловз хоолойн нягт нь ихсэдөг, цахилгааны бүтэн байдал нь хоосондуур хийх нь.

Усны чанар нь мөн цахиур гадаргуугийн ус төрлийн холбоодыг нөхцлөөрүүлдэг, ялангуй чухал хүчин зүйл, ялангуй чухал хүчин зүйл, оксиджихийг саатуулж, гадаргуугийн пассивацийг хадгалах. Төрөлхийн оксидыг хасахын тулд гидрофторын хүчлийн бүрдүүлэлтүүдийн дараа пластинкуудыг үлдсэн фторид ионыг ариутгах, цахиур гадаргуугийн ус төрлийн холбоодыг хадгалах зорилгоор ультрацэвэр усаар угаана. Хэрэв угаалтын ус нь уусмуйн хүчилтөрүүд, металлын катализаторууд эсвэл бүүр бүүр оксиджуулагч хүчилтөрүүд агуулж байвал ус төрлийн холбоод хурдан деградацид орж, хянахгүй оксидын дахин үүслэд, гадаргуугийн товшролд шингэд. Химийн-механик талбайлах процессын үед механик хонхорлолт ба химийн уусгагч үйлдлийн хослолыг ашиглан ультрацэвэр усаар угааж, сульрын бөөрсүүд болон хаягдмуйн бүрдүүлэлтүүдийг ариутгаж, нарийн талбайласан гадаргууг өөрчлөхгүйн тулд угаалтын ус нь ультрацэвэр байх ёстой. Угаалтын дараа үлдсэн ион төрлийн нүүрсүүд гадаргуугийн электрохимийн потенциалд нөлөөлдэг, коррозийн йогтой байдлыг, дараагийн металлын тунадасгагч төрлийн нэдүүрлэд нөлөөлдэг.

Хагасдамжуулагчийн хэрэглээний тулд ультрацэвэр усны чанарын стандартуудыг тодорхойлох

Даамжруулалт ба ионы бохирдлын техникийн шаардлагууд

Хагасдамжуулах төхөөрөмжийн салбар нь ультратун чистой усны чанарыг олон хэмжүүрээр тодорхойлдог, түүнд даамжруулалт нь ионы цэвэршилтийн үндсэн бодит хугацааны индикатор юм. Хагасдамжуулах төхөөрөмжийн хэрэглээнд зориулж хэрэглэдэг ультратун чистой ус нь агаарын нүүрстөрөөд хийн доторх тэнцвэрт байдалд хүртэлх усны онолын хамгийн өндөр цэвэршилтийг илтгэх 25°C-д 18,2 мегаом-сантиметр даамжруулалт хүртүүлж, түүний ионы нийт бохирдлын түвшин нь нэг миллиардад нь нэг хэсэгт (1 ppb) бага байх ёстой. Энэ даамжруулалт нь тусгай металлын ионуудын түвшин нь ихэвчлэн нэг триллионд нь нэг хэсэгт (1 ppt) бага байхыг хангаж, нийт ионы бохирдлын түвшин нь нэг миллиардад нь нэг хэсэгт (1 ppb) бага байхыг хангаж. SEMI (Хагасдамжуулах төхөөрөмж ба материалын олон улсын холбоо) бүлгийн F63 стандарт нь даамжруулалт, нийт исэлдүүлж болох нүүрстөрөөд, бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагуудыг тодорхойлдог бөөрсүүдийн тоо, бактерийн тоо, уусгаж буй хүчилтөрөөд гэх мэт хэмжүүрүүдийн дэлгэрэнгүй техникийн шаардлагууд......

Энэхүү онцгой цэвэр байдлыг хангахын тулд байнга хяналт тавих, олон үе шаттай эмчилгээ хийх шаардлагатай. Нийслэлийн ус, гүүрний ус гэх мэт эх ус нь сая нэгжээс хэдэн зуун хэсгээр хэмжигдсэн нийт шингэн цэгцтэй эхлэнэ. Олон нийтийн цэвэршүүлэг, идэвхжүүлсэн нүүрсний шингээлт, усны зөөлөнжилтийг багтаасан урьдчилсан боловсруулалтын үе шат нь анхны цэвэршүүлэгээс өмнө их хэмжээний бохирдлыг бууруулдаг. Буцалтгүй осмоз систем нь 98-99%-ийн ургамлын ион, цөмийн бодисыг арилгаж, нэг мегом сантиметр орчим эсэргүүцэлтэй давхар ус үүсгэдэг. Цахилгаан ионжуулалт эсвэл холимог ион солилцооны полир нь дараа нь, зорилтот 18,2 мегом сантиметр түвшинд эсэргүүцлийг авчирдаг. Дараа нь хэт цэвэр ус нь үйл ажиллагааны бүх хэсэгт тогтмол чанарыг хангахын тулд тасралтгүй нөхөн сэргээгдэх хаалттай системд үйлдвэрлэлийн бүс нутгаар эргэлтэд ордог.

Органик нүүрс, микробиологийн хяналтын шаардлага

Ультрацэвэр усны нийт органик нүүрстөрөхүүдийн тодорхойлолт нь ихэвчлэн таван нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөхүүдийн төрүүн хувь (ppb) – саас доош бүхлээр хамгийн өндөр шаардлагын түвшин бөхийн нүүрстөрөх......

Микробиологийн бохирдлыг хянах нь онцгой дуулга тавьдаг, учир нь үхсэн бактерийн нүднүүд ба түүний нүдний хэсгүүд чинь чипсүүдийг бохирдуулж чаддаг. Амьд бактерийн тоо ултрапүр усанд миллилитр тутамд нэг колони үүсгэгч нүднүүсээс бага байж чаддаг, гэтэдүүр амьд ба амьгүй бактерийн нүдний нийт тоо миллилитр тутамд араваас бага байх ёстой. Бактерийн эндотоксинууд — грам-сөрөг бактерийн нүдний хананы липополисахаридууд — түүнчлэн ачаалт үзүүлдэг, учир нь түүнүүд нүднүүд үхсэн дараа ч үлддэг ба фоторезистийн наалдах чанарыг саадтай болгодог. Ултрапүр усны системүүд микробиологийн асуудлуудыг УФ дезинфекц, халуун усны санитацийн циклүүд, хоёр зуунаас бага нанометр абсолют нүхний хэмжээтэй мембраны шүүлт ба биофильмын үүсэлд хамгийн бага хувь нэмдэг материал сонгох замаар шийддэг. Тархалтын гүрвэлдүүр дизайн нь турбулент урсгалын нөхцлүүдийг оролцуулдаг ба усны түүхийдүүр бүрдүүлдэг «үхсэн хөндлөн» хэсгүүдийг саадтай болгодог.

Бөөрсүүдийн тооллын стандартууд ба хэмжилтийн дуулга тавьдаг асуудлууд

Төхөөрөмжүүдийн хэмжээ багасахын хэрээр ултрапүр чулуун усны нүүрсний боолгын тодорхойлолт хүчтэрсэн. Одоогийн стандартууд нь ихэвчлэн тавин нанометртэй илүү том бөөмсийн хувьд миллилитрт нэг бөөмсөөс бага шаардаж, зарим чухал хэрэглээс нь хорин нанометртэй бөөмсийг илрүүлж, хянахыг шаардаж. Түүн дотроо бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох бөөмсийн хэмжээг тодорхойлох нь хуучин шингэн бөөмсийн тоолуур технологийг сорилцоох......

Ультратундас усанд бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүрдмүүр хөрвүүлэх үед бүр......

Ультрацэвэр ус үйлдвэрлэх технологи ба системийн архитектур

Олон шатын цэвэрлэх процессын дизайн

Ультрацэвэр ус үйлдвэрлэх нь тодорхой боолгогчдийн ангилалд хүртэл нарийн дараалалд орж буй цэвэрлэх технологийн цуваа шаардаж, процессын анхны шат нь усны үүсгүүрт нөхцөл бүрдүүлж, доод зэргийн цэвэрлэх төхөөрөмжүүдийг хамгаалах үүрэгтэй. Олонхүртүүрт шүүртүүрт антрацит, пясок, гранатын давхрагууд бүхий шүүртүүрт суулгагч бөөрсүүд ба туннагшлыг арилгаж, идэвхт нүүрст шүүртүүрт хлор, хлорамин, органик нөгөөсүүдийг шингээж, урвуу осмосын мембраныг гэмтээх юм уу ультрацэвэр усны чанарыг муудуулж, түүнийг боолгогчдийн хувьд хоосон хүртүүрт үлдээж. Усны хатуулагчид юм уу салгагч реагентийн хийлгүүрт хийлгүүрт минералын хуурхай үүсэхийг саархуулж. Эдгээр урьдчилан цэвэрлэх шатууд боолгогчдийн ачааллыг есөн аравт нь хүртэл бүүр хорин тавин хувийн хүртэл бууруулж, дараагийн цэвэрлэх шатуудын үйлдлийн хугацааг уртасгаж, системийн нийт үр ашигт бүүр сайн нөлөөлж.

Үндсэн цэвэрлэх төв нь усны молекулүүдийн нүүр дайрч, уусгагч ионы, органик бодисын ба бөөрсгүүдийн нүүр дайрахыг саатуулж, гидравлик даралт үзүүрлүүр ашиглан усыг хагас нүүр дайрч чадах мембраныг дайрч үйлдэх урвуу осмос технологи нарийн цэвэрлэх үйлдлийн төвд оршит. Орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ихэвчлэн урвуу осмосын хоёр шатын систем ашиглаж, шатуудын хооронд рН-ийн зохицуулалт хийж, түүнийг хориглох үйлдлийн үр дүнг сайжруулж байдаг. Урвуу осмосын анхны шат нь их хэмжээний бохирдуулагчдыг ариутгаж, хоёрдугаар шат нь нүүр дайрч гарч ирсэн усыг цэвэрлэн, түүнийг нь 1 МОм·см-түүн дотроо хүртэлх төвөгтэй бүтэцтүүн хүртэлх түвшинд хүргэдэг. Нүүр дайрч гарч ирсэн усын сүүлд авах хувь нь ихэвчлэн 75–85 хувь бөлгөөн бөөрсгүүдийн ус нь хаягдаж буюу ус хадгалах үүднээс нь дахин цэвэрлэх үйлдлийн дор хамрагдаж байдаг. Мембраны сонголт, ажиллах даралт, температур хяналт, цэвэрлэх дүрэм — бүгд ультрацэвэр ус үйлдвэрлэх үед урвуу осмосын үр дүнгийн чанар ба тогтвортой байдлыг нөлөөлдөг.

Эцсийн цэвэрлэх үйлдлийн хүрдэл

Электродионизацийн технологи нь ултрапүр чанарын ус үйлдвэрлэхдээ чухал ахисаа төлөөлдөг, ионы солилцооны смолтын хамт шууд гүйдэлт электрик талыг ашиглан химийн солилцооны бүтээгдэхүүнүүдийн дахин ашиглалтгүй тасралтгүй ионы зайлуулалт хангаж буй. Электродионизацийн модулях, ионы сонгомур мембранаар хязгаарлагдсан хоолойд холимог ионы солилцооны смолт бөмбөлгүүд бүрдүүлж буй. Харин урвуу осмосын нүүрлүүр ус түүн доторх смолт бөмбөлгүүдийн дундуур урсах үед ионыг смолт бөмбөлгүүд хүлээн авч, дараа нь цахилгаан-нүүрлүүр усны үүрд нь зүүн ба баруун талаар хүлээн авч, тасралтгүй зайлуулж буй. Катионыг катион-сонгомур мембранаар катод руу, аннионыг аннион-сонгомур мембранаар анод руу нүүрлүүр усны үүрд нь зүүн ба баруун талаар хүлээн авч, тасралтгүй зайлуулж буй. Тасралтгүй дахин ашиглалт нь хуучин ионы солилцооны системд шаардагдаж буй хүчил ба шүлт солилцооны бүтээгдэхүүдийн шаардлагыг арилгаж, үйлдүүлэх зардлыг ба орчинд үзүүлж буй нөлөөг бүүр багасгаж буй.

Электродионизацийн системүүд тогтмол байдлаар хувьсах гадаадын усны бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгийн бүлгий......

Давтагдаж бүрэлдүүлэх тойргийн загварын зохиомж ба тархалтын стратеги

Хагасдамжуулагч үйлдвэрүүд усны чанарыг тасралтгүй хадгалах, хэрэглээг хамгийн бага түвшинд хадгалах зорилгоор ультратунд усны битүүн тойргийн давтагдаж бүрэлдүүлэх систем ашиглаж тархалт хийдэг. Анхны үйлдвэрлэл ба цэвэрлэлтийн дараа усны төвөдлөх чадвар нь арван найм бүхэл хоёр мегаом-сантиметр хүртэл нэмэгддэг, түүнээс хойш ультратунд ус нь үйлдвэрлэлийн газрын бүх технологийн төхөөрөмжүүд рүү ус тархалт хийдэг тойргийн хэсгүүд рүү орж ирдэг. Буцалт шугамууд ашиглагдаагүй ус ба хэрэглэсэн усны хаягдмуйг цуглуулж, ультратунд усны үйлдвэрлэлийн газар рүү дахин нөхцөлдүүлэх зорилгоор илгээдэг. Давтагдаж бүрэлдүүлэх тойргийн арга нь нэг удаа ашиглагдах системүүдтэй харьцуулж, усны үүсгүүрт хэрэглээг далд хориглохын зэрэгцээ сүүлд нь тасралтгүй цэвэрлэлт хийж, тогтмол чанарыг хадгалж үлдээдэг. Тойргийн загварын зохиомж нь бөөрсөг урсгалын нөхцөлд анхаарахыг шаардаж, бөөрсөг урсгал нь бөөрсөг хэсмүүдийн тундруулалт ба биодалдын үүсэлд саад тавьдэг; урсгалын хурдатгал нь ихэвчлэн секундад нь нэг метртэй тэнцүү юм.

Өндөр цэвэр ус түгээх системийн материалын сонгон шалгаруулалтад усыг бохирдуулахгүй, химийн хувьд идэвхгүй, усыг угаадаггүй материалуудад анхаарна. Өндөр нягтшилтай полиэтилен, поливинилдиний фтор, перфлюороалкокси флюорополимер суудлын суудлууд нь химийн халдлагад тэсвэртэй, ионы бага хэмжээний угаах чадвартай тул сонгогдсон орчин үеийн суурилуулалтад гол байр суурь Угаах техник нь органик бохирдол үүсгэх боломжтой элс эсвэл эластомер цогцолборгүй, савлагаагүй нэгдлүүдийг бий болгодог. Бүтгэх систем нь стратегийн байрлалд байрлуулсан эргэлтийн насос, УВ-ийн халдваргүйжүүлэх нэгж, температурыг хянах тоног төхөөрөмж, ус эргэлтэд орсноор үргэлжлүүлэн сэргээдэг терминалын сүсжилтийг багтаадаг. Олон төрлийн чанарын хяналтын цэгүүд эсэргүүцэл, нийт органик нүүрс, цөмийн тоо, ууссан хүчилтөрөгчийг хэмжиж, системийн оптималжлалын тулд бодит цаг үеийн санал асуулгыг олгож, вафрийн боловсруулалтад аюул учруулах чанарын гажуудалтыг эрт ил

Усны чанарын хүрэлцэдүүн байдалд холбогдож үүсгэх эдийн засаг, үйлдворын үр дагаварууд

Түүхийн нөлөөлөл ба гажигт нягтсүүл хамаарал

Силиконовын дисковийн угаалтад хангалтгүй чанарын ус ашиглахын санхүүгийн үр дагшлын нөлөө ус цэвэрлэх системүүдийн үнэд хүртэл төдий л бага. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь маш нарийн гарц зорилтот хувьд явдаг, учир нь газрын хэмжээнд бага зэрэг өсөлт нь хүнд санхүүгийн алдагдалд шилжинэ. Нэг угаалтын үед боолгож бүх дисковийн дэлгүүр дээр бөөрсүүд эсвэл металлын ионын хуримтлал үүсгэх нь сая долларын үнэ цэнэт түүхий эдийн үхлийг үүсгэж чадна. Дисковийн үнэ нь нэгжид таван мянган долларын дээр, нүүрлүүрт нь хорин таван дисковийн бүлгийн үйлдвэрлэл хийгдэж буй үед, нэг бүлгийн дисковийн боолгох нь шууд материал алдагдалд нь нэг зуун хорин таван мянган долларын дээрх үнэ цэнэт алдагдалд шилжинэ. Боолгох үед хүртэл хийгдсэн нийт боловсруулалтын зардлыг тооцохдоо, фотолитографи, хатгаж бүтээх, туннелд бүтээх, тархайх үйлдлүүдийн зардлыг орхигүй тооцохдоо, үнэнд үзүүрлүүрт алдагдал нь нэг инцидентийн даруй хоёр зуун мянган долларын дээрх үнэ цэнэт алдагдалд шилжинэ.

Катастрофал багтаамжит бохирдож, хүнд усны чанарын асуудлуудаас өвөрмөц гэмтэл үүсгэх механизмийн дараа тааруухан үйлдвэрлэлийн хорогдуулалт үүсдэг. Хэрэв бага хэмжээтэй металлын бохирдож нь төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах чадварыг шууд саадтай болгохгүй бөлөг, түүний найдвартай байдал буурч, туршилтын үед эсвэл анхны ажиллах үед төрөлхийн төхөөрөмжийн газрын ажиллах......

Технологийн төхөөрөмжийн ажиллах хугацаа ба засвар үйлчилгээний асуудлууд

Усны чанар нь хагас дамжуулагчийн процессын тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагааны найдвартай байдал, засварын шаардлагад шууд нөлөөлдөг. Ургасан суудлууд, химийн бодис түгээх систем, цэвэрлэх хэрэгсэл нь цэвэр устай, цэвэрлэх, цэвэрлэх үйл ажиллагаа явуулдаг. Усны чанар муудахад цөмийн багац нь цөмний суудал, урсгалын зохицуулагч, зуухны цэврийн усан дээр хуримтлагдаж, төлөвлөсөнгүй засвар хийх шаардлагатай алдаа үүсгэдэг. Ударсан ион төрлийн бодис нь процессын химийн бодистай хольцох үед эсвэл буурч, химийн төвлөрлийг өөрчлөх урсгалыг хязгаарлах, химийн төвлөрлийг өөрчлөх хэмжээнд хадгаламж үүсгэдэг. Эдгээр хадгаламж нь цэвэрлэх дугуйны ихээхэн хэрэгцээг шаарддаг, тоног төхөөрөмжийн хэрэглээг багасгаж, засварын зардлыг нэмэгдүүлдэг. Усны чанар хангалтгүй байгаа хэрэгсэл нь засварын үйл явдлын хооронд дундаж хугацаа нь бага байдаг тул тоног төхөөрөмжийн нийт үр дүнг бууруулж, үйлдвэрлэлийн хүчин чадлыг хязгаарладаг.

Химийн-механик талбайг төлөвлөх хэрэгсэл нь ультратүүнд усны чанарын шаардлагыг тусгайлан хатуу тавьдаг, учир нь ультратүүнд ус нь зөөлрүүлэгч холимогт уусгагч үүрэг гүйцэтгэдэг бас сүүлийн угаалтын орчин болойдоо. Муу усны чанар полировочны дэвсгүүрүүдийн дугуйлтыг хурдасгаж, холимог тараагч системүүдийг бохирдуулж, цацрагт хориглолтын хурдын тогтмур байдлыг бүүр муудуулж. Фотолитографи трек системүүд нь ультратүүнд усныг резистийн хөгжүүлэлт ба цацрагт хориглолтын дараах халалт үйлдлүүдэд ашигладаг, хүртэл бохирдуулалт хүртэл дүрсний нарийн тодролыг нөлөөлдөг. Диффузийн уутууд нь усныг ууртгаж оксиджуулж, влаж цэвэрлэх циклүүдэд ультратүүнд ус ашигладаг, усны бохирдуулагч бүрдүүлэлтүүд нь үүсгүүлсэн оксид давхрагуудад шууд орж. Бүх технологийн талбайгүүдэд ультратүүнд усны чанарыг онцгой сайн хадгалах нь төлөвлөгүй зогсолтуудыг бүүр багасгаж, хэрэглээд бүүртүүдийн үйлдлийн хугацааг уртасгаж, технологийн давтамжийг сайжруулж, капитал-интенсивнүүд үйлдвэрлэлд хийгдсэн хөрөнгө оруулалтын үр дүнг хамгийн их хэмжээнд хүртүүлж.

Зохих хууль тогтоомжид нийцэх ба түүхийн үүрэг

Орчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд нь үйлдвэрлэлийн чанарыг хадгалах үед орчинд үзүүлдэг нөлөөг багасгахын тулд нэмэлт даралтанд орж байна. Ультратунн усны системүүд нь усны шахалт, халалт, хөхрүүлэлт ба цахилгаан салгах процессын тулд их хэмжээний энергия зарцуулдаг, мөн урвуу осмосын хаягдмуйн ус, тунн усны цэвэрлэх бодисууд, концентрат минералууд агуулж буй усны хаягдмуйн урсгалыг үүсгэдэг. Дэвшилтт системийн дизайн-д усны сэргээл ба дахин ашиглалтын технологиуд орж байгаа, түүн дотроо хаягдмуйн усны хэмжээг хамгийн бага түвшинд хадгалах, усны нөөцийн хэрэглээг багасгах. Урвуу осмосын концентратыг урьдчилан цэвэрлэх процессын тулд эсвэл хөхрүүлэх цамхагуудын тулд давтлан цэвэрлэн дахин ашиглаж байгаа. Нөхөн сорбцон хийн сүүдрийн системүүдийн хэрэглэсэн сорбцон шингэнд нейтралжуулалт хийн, дараа нь хаягдмуйн өмнө цэвэрлэн бүтээдэг. Урвуу осмосын системүүд дээрх энергия сэргээлтийн төхөөрөмжүүд концентратын урсгалын гидравлик даралтыг бүтээдэг, үүн дотроо өндөр даралтанд шахалтад шардуулдэг энергияг багасгадэг.

Хагасдамжуулагчийн үйлдвэрүүдийн хувьд орчин үеийн экологийн дүрэмжүүрүүд нь ус хадгалах, усны гаргалтанд тавигдах чанарын шаардлагуудыг бүр илүү хатуу тавигдах болж буй. Ультратунхим усны системүүд нь металлын агууламж, pH ба нийт уусмуйн батерийн хувьд орон нутгийн бохир усны гаргалтын хязгаарын шаардлагуудыг хангаж, хотын усний нөөцөс юм уу газрын доорх усны нөөцөсөөс авах усны хэрэглээг хамгийн бага түвшинд барьж чадах ёстой. Дугуй усны удирдлагын стратегиудыг хэрэгжүүлж буй үйлдвэрүүд нь идэвхитэй дахин ашиглалт, сэргээлт, нөхөн бүрдүүлэлтийн хөтөлбөрүүдийн дүнд усны нөөцөснөөс авах усны хэрэглээг тавин хувь хүртэл бүрдүүлж чаджуй буй. Эдгээр тогтвортой хөгжлийн үйл ажиллагаанууд нь зөвхөн орчин үеийн нөлөөг багасгахаас гадна үйл ажиллагааны зардлыг багасгаж, усны нөөцөснөөс хангамжийн саадын үед үйлдвэрүүдийн төвөгтэй бүсгүйдүүлэлтийг сайжруулж чаджуй буй. Ультратунхим ус үйлдвэрлэх үр дүнтэй технологийн хөрөнгө оруулалт нь орчин үеийн хариуцлагатай хамгаалалт, ажиллуулалт болой буй, мөн хагасдамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тавигдах үл хурдан чанарын шаардлагуудыг хангаж чаджуй буй — үүнээс үзүүлж буй нь, системүүдийг зөв төсөөлж, зөв ажиллуулж чадвал эдийн засгийн ба орчин үеийн зорилго нь нийлж чаджуй буй.

Түүн дээрх асуулт хариулт

Ультрацэвэр ус нь ионыг хасагч буюу дистиллирован усаас юунд ялгаатай?

Ультрацэвэр ус нь хэдэн дахин өндөр цэвэрлэгдүүр түвшинтэй бөөрнүүр дэионизирован ус, дистиллирован уснаас. Дэионизирован ус нь ионы солилцоо аргаар ионы холбогчдыг хасаж, нийтлэх чадварыг нь 1–5 мегаом-сантиметр хүртэл нэмэгдүүр, харин ультрацэвэр ус нь урвуу осмос, электродионизаци, тасралтгүй дагуур циркуляци ба полировка аргаар хамтран 18,2 мегаом-сантиметр хүртэл нэмэгдүүр. Дистилляци нь уусмуйн хүнд металлын нүүрсүүдийг хасаж, гэтэд нь хөнгөн органик нүүрсүүдийн дагуур шилжихийг зөвшөөрөөр, мөн бөөрнүүр хэсгүүдийн хасах арга не бүхлэд орой. Ультрацэвэр усны систем нь бүх төрлийн бохирдогчдыг нь зэрэгцээд хяналд держит: ионы холбогчдыг нь триллионд нь нэг хэсгүүдийн доор, нийт органик нүүрсүүдийн хэмжээг нь таван миллиардд нь нэг хэсгүүдийн доор, тавин нанометр дээшх бөөрнүүр хэсгүүдийн тоог нь миллилитрт нь нэг хүртэл, бактерийн тоог нь миллилитрт нь арав хүртэл хязгаарлайд. Энэ бүх талын бохирдогчдын хяналд ультрацэвэр усны үйлдвэрлэл нь энгийн цэвэрлэгдүүр аргаас ялгаатай.

Ультратөвхөн усны чанарыг хичнээн их давтамжтайгаар хянах ёстой вэ?

Хоёр дамжуулагчийн байгууламжууд нь үйлдвэрлэл, түгээлтийн системүүдийн олон цэгт хэт цэвэр усны чанарыг бодит цаг хугацаагаар тасралтгүй хянах ажлыг хэрэгжүүлдэг. Тэсвэртэй байдлын мэдрэгч нь ион цэвэршлийн талаар тогтмол хариу өгөх бөгөөд үнэ цэнийг 18 мегом сантиметрээс доош унахад сэрэмжлүүлэг үүсгэдэг. Нийт органик нүүрсний шинжилгээний хэрэгсэл нь үйл явцын критикийг хамаарч тасралтгүй эсвэл 15-30 минутын хооронд шинжилгээ хийдэг. Нүүргийн хуваарилалтын цэг, ашиглалтын газруудад цаашид үйл ажиллагаа явуулж, хэмжээний хуваарилалт, агууламжийн чиг хандлагыг бүртгэнэ. Хулган дахь хүчилтөрөгч, температур, урсгалын хурдны хэмжилт нь үйл явцыг хянах нэмэлт параметрүүдийг өгдөг. Бактерийн тоо, металлын ионы төвлөрөл, бусад тусгайлагдсан параметрүүдийн лабораторийн шинжилгээ нь хууль тогтоомжийн шаардлага болон үйл явцын хэрэгцээг харгалзан өдөр бүр эсвэл долоо хоног бүр явагддаг. Энэхүү цогц хяналтын стратеги нь бохир ус нь шимтгээнд хүрэхээс өмнө чанартай халдварыг шууд илрүүлэх, үр өгөөжийг хамгаалах, хурдан засах арга хэмжээ авах боломжийг олгодог.

Хагасдамжуулагчийн үйлдвэрт цөмийн хавтгайг угаах үйлдлүүдээс ултрапүр чист ус дахин ашиглах боломжтой юу?

Тийм, орчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд уламжлалт цэвэр усны нөхөн ашиглалтын нарийн төвөгтэй системүүдийн тусламжтайгаар түүнийг үлэмжит нөхөн ашиглалтад оруулж байдаг. Технологийн төхөөрөмжүүдээс гарч ирж буй ус, түүнд бүх төхөөрөмжүүдийн сүүлийн усанд хориглолт хийж буй үе шатууд, уламжлалт цэвэр усны үйлдвэрт тусгай буцах шугамаар буцаж ирдэг. Энэ ус нь эх усны хүртэлх хүртэлх бүх боловсруулалтын дараалалд орж, түүнд шүүлэлт, урвуу осмос, электродионизаци, УФ-бүүрэлдүүлэлт, төгсгөлч шүүлэлт орж, дараа нь тархалт хүртэлх гүйдэлд дахин орж байдаг. Нөхөн ашиглалтын хувь нь тархалт хүртэлх усны ердийн хэмжээнд харьцуулан далайцдаа 70–85 хувь хүртэл хүрдэг. Химийн бодисын концентраци үндсэнд нь өндөр буюу бөөрсгүүдийн ачаалал ихтэй үе шатуудаас гарч ирж буй ус нь дахин оруулахын өмнө тусгай боловсруулалт шаардуулж, бүүр хаяхын өмнө тусгай боловсруулалт шаардуулж байдаг. Усны дүүрэн бүүрэлдүүлэлтийн арга нь эх усны хэрэглээг хүчтэй бууруулж, үйлдүүлэлтийн зардлыг бууруулж, орчинд хаях усны хэмжээг хамгийн бага түвшинд хадгалж, систем дунд бүх түвшинд тогтвортой чанарыг хадгалж байдаг. Хамгийн үр дүнтэй үйлдвэрүүд онлайн бохирдлын мониторингийн системүүдийг оруулж байдаг, якшоо чанарын хязгаарыг давж буй усны урсгалыг автоматик хүчээр хазайлгаж, нөхөн ашиглалтад зөвхөн тохиромжтой ус л орж байдаг.

Үйлдвэрлэл үед ултрапүр усны хангамж түрхүн алдагдвал юу болой?

Идэвхтэй дүрсүүдийн боловсруулалтын үед ультратөвөнхөн усны хангамж алдагдаж, үүн дагаж үйл ажиллагааны хүнд сорилцоо үүсдэг, түүнд түргэн хариу үйлдэл хийх протоколууд шаардлагатай. Олон хагас дамжуурлын үйлдвэрт ультратөвөнхөн усны нөөц савууд байдаг, түүнд 30–60 минутын үйл ажиллагаанд хүрэлцэх хэмжээний ус хадгалагдаж, хангамжийн сааталд хариу үйлдэл хийх хугацаа олгож, үйлдвэрлэлд шууд нөлөөлөл үзүүлэхгүйн тулд хангалттай цаг хүртэл үйл ажиллагаа үргэлжлүүр. Хэрэв саатал нөөц хүчин чадлын хугацаанаас урт бол, технологийн төхөөрөмжүүдийг аюулгүй зогсоох төлөвт оруулж, дүрсүүдийг одоо явж буй технологийн үе шатыг дуусгах эсвэл урт хүлээлтийн үед хориглохгүй байх байрлалд шилжүүлж, түүнд хүрэлцэх хугацаа олгоно. Усны хангамж алдагдаж, дүрсүүд технологийн үе шатын дунд байх үед түүн дээрх технологийн үе шатын онцлог ба бүтэлгүй боловсруулалтад үлдсэн хугацаа хамаарч, дүрсүүд хаягдаж болзош. Шүүрүүлэх усны хангалтгүй байх үед шингэн химикатуудын гурван урсгал үргэлжлүүр, ийнхүү чухал влаж бенчүүд ба цэвэрлэх төхөөрөмжүүд гэмтэж болзош, түүнд ажилд орхихын өмнө үлдсэн хүндрүүлсэн засварын ажил шаардлагатай. Дүрсүүдийн үйлдвэрлэлд ультратөвөнхөн усны системүүд нь надёжностыг хамгийн их хэмжээнд хүртүүлж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлын аюулгүй бүтэц, нөөц хүчин чадал, нөөц цахилгаан хангамж, ажилд орхихын өмнө хийгдэх бүтэн засварын хөтөлбөрүүдийг орлуулж, хангамжийн саатлы......